真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
真空鍍膜機(jī)機(jī)械泵、增壓泵、油擴(kuò)散泵的工作順序,原因及原理如下:
1、機(jī)械泵
是從大氣開始工作的,機(jī)械泵排氣的效果還與電機(jī)的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有關(guān)系,當(dāng)電機(jī)的皮帶比較松,電機(jī)轉(zhuǎn)速很慢的時(shí)候,機(jī)械泵的排氣效果也會(huì)變差,所以要經(jīng)常保養(yǎng),點(diǎn)檢,機(jī)械泵油的密封效果也需要常常點(diǎn)檢,油過少,達(dá)不到密封效果,泵內(nèi)會(huì)漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般,在油位在線下0.5厘米即可。
2、增壓泵:
它是具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形轉(zhuǎn)子的機(jī)械泵,由于它的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相同,所以又可以叫羅茨真空泵,此泵在100-1帕壓強(qiáng)范圍內(nèi)有較大的抽氣速度,它彌補(bǔ)了機(jī)械泵在此范圍內(nèi)排氣能力不足的缺點(diǎn),此泵不能從大氣開始工作,也不能直接排出大氣,它的作用僅僅是增加進(jìn)氣口和排氣口之間的壓差,其余的則需要機(jī)械泵來完成,因此,它必須配以機(jī)械泵作為前級(jí)泵。
油擴(kuò)散泵:機(jī)械泵的極限真空只有10-2帕,當(dāng)達(dá)到10-1帕的時(shí)候,實(shí)際抽速只有理論的1/10,如果要獲得高真空的話,必須采用油擴(kuò)散泵。
3、油擴(kuò)散泵
應(yīng)用壓強(qiáng)范圍是10-1帕-10-7帕,它是利用氣體的擴(kuò)散現(xiàn)象來排氣的,它具有結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,抽速大(最高可以達(dá)到10+5升/秒)等特點(diǎn)。油擴(kuò)散泵主要由泵殼、噴嘴、導(dǎo)流管和加熱器組成,里面主要添加擴(kuò)散泵油(日本的型號(hào)是D-704#),根據(jù)噴嘴的多少可以分為單級(jí)泵和多級(jí)泵。
當(dāng)擴(kuò)散泵的油被電爐加熱時(shí),產(chǎn)生的油蒸汽提供前置壓強(qiáng),機(jī)械泵充當(dāng)前置泵。當(dāng)擴(kuò)散泵油被電爐加熱時(shí),產(chǎn)生的油蒸汽沿著導(dǎo)流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機(jī)械泵提供的1-10-1帕的真空,故油蒸汽可噴出一段距離,構(gòu)成一個(gè)向出氣口方向運(yùn)動(dòng)的射流。射流最后碰上由冷卻水冷卻的泵壁,凝結(jié)為液體,流回蒸發(fā)器,即靠油的蒸發(fā)——噴射——凝結(jié),重復(fù)循環(huán)來實(shí)現(xiàn)抽氣的。
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