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熱門關(guān)鍵詞:真空鍍膜機(jī) 真空鍍膜設(shè)備 真空鍍膜機(jī)廠家

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一種旋轉(zhuǎn)式真空鍍膜機(jī)的制作方法

作者:  來源:  更新時(shí)間:2019-11-13 13:59:14  點(diǎn)擊次數(shù):
本實(shí)用新型涉及鍍膜機(jī)相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種旋轉(zhuǎn)式真空鍍膜機(jī)。

背景技術(shù):

真空鍍膜機(jī)主要指一類在較高真空度下對工件進(jìn)行鍍膜的設(shè)備,其中,鍍膜的技術(shù)具有很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的對象被稱為工件(或基片),需要鍍在工件上的材料被稱為靶材,如硅靶、鈮靶、鋁靶、鈦靶等。工件與靶材同在真空腔中。在真空條件下,通入一定氣壓的氬氣,氬氣在高電壓(300-800V)電場作用下電離為氬離子,氬離子加速轟擊靶材,從而將靶材材料濺射到工件表面,形成薄膜。但是一般的鍍膜機(jī)不能進(jìn)行環(huán)形軌道鍍膜,因此鍍膜時(shí)間很長,不能提高鍍膜的效率;而且一般的鍍膜機(jī)沒有設(shè)置收集裝置,對材料造成了極大地浪費(fèi)。因此,發(fā)明一種旋轉(zhuǎn)式真空鍍膜機(jī)來解決上述問題很有必要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的在于提供一種旋轉(zhuǎn)式真空鍍膜機(jī),以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種旋轉(zhuǎn)式真空鍍膜機(jī),包括鍍膜機(jī)主體,所述鍍膜機(jī)主體的內(nèi)腔底端中部設(shè)置有導(dǎo)向凸起,所述鍍膜機(jī)主體的內(nèi)腔底部邊緣設(shè)置有收集槽,所述鍍膜機(jī)主體的側(cè)壁上設(shè)置有電控滑軌,所述電控滑軌通過連接管與活動(dòng)噴頭連接,所述鍍膜機(jī)主體的端側(cè)壁上設(shè)置有環(huán)形空槽,所述環(huán)形空槽位于電控滑軌的上方,所述環(huán)形空槽內(nèi)設(shè)置有活動(dòng)板,所述活動(dòng)板通過L形連接桿與電控滑軌連接,所述活動(dòng)板上固定安裝有容納箱,所述容納箱的底部設(shè)置有循環(huán)管,所述循環(huán)管遠(yuǎn)離容納箱的一端插入收集槽內(nèi),所述鍍膜機(jī)主體的頂部設(shè)置有蓋板,所述蓋板的底端中部設(shè)置有連接塊,所述連接塊的底部設(shè)置有固定板,所述固定板的內(nèi)側(cè)設(shè)置有貼合板,所述貼合板靠近固定板的一端設(shè)有連通管,所述連通管遠(yuǎn)離貼合板的一端貫穿固定板并與貼合塊固定連接,所述貼合塊的外側(cè)貼合設(shè)置有噴涂材料,所述連接塊的中部設(shè)置有抽氣裝置,所述抽氣裝置的底部通過通氣管與連通管連接,所述抽氣裝置的頂部設(shè)置有電磁閥,所述電磁閥的頂部設(shè)置有出氣口,所述出氣口位于蓋板內(nèi),所述蓋板的一側(cè)設(shè)置有真空泵連接管。

優(yōu)選的,所述活動(dòng)噴頭與連接管通過銷軸連接,且銷軸上設(shè)置有微型電機(jī)。

優(yōu)選的,所述活動(dòng)板的底部設(shè)置有滾珠,滾珠的底部位于空槽底部的環(huán)形滑道內(nèi)。

優(yōu)選的,所述固定板設(shè)置有多個(gè),多個(gè)固定板呈環(huán)形陣列分布。

優(yōu)選的,所述噴涂材料為環(huán)形結(jié)構(gòu),所述固定板、連通管和貼合塊均位于噴涂材料的內(nèi)側(cè)。

優(yōu)選的,所述貼合塊的外側(cè)設(shè)置有彈性連接層,彈性連接層與噴涂材料的內(nèi)側(cè)貼合連接,且彈性連接層上設(shè)置有氣孔。

本實(shí)用新型的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型通過在鍍膜機(jī)主體內(nèi)設(shè)置有電控滑軌和活動(dòng)板,使得活動(dòng)噴頭能夠在環(huán)形軌道運(yùn)動(dòng)的同時(shí),對噴涂材料進(jìn)行鍍膜工作,提高了本裝置的工作效率;在鍍膜機(jī)主體的底部設(shè)置有收集槽,通過循環(huán)管可將滴落的噴料收集再次利用,提高了材料的利用率;蓋板上的抽氣裝置通過氣管、連通管和貼合塊,能夠?qū)娡坎牧衔焦潭?,使得噴涂材料便于固定和更換,進(jìn)一步提高了本裝置的工作效率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)剖面示意圖;

圖2為本實(shí)用新型固定板結(jié)構(gòu)俯視示意圖;

圖3為本實(shí)用新型貼合塊結(jié)構(gòu)剖面示意圖。

圖中:鍍膜機(jī)主體1、導(dǎo)向凸起2、收集槽3、電控滑軌4、連接管5、活動(dòng)噴頭6、活動(dòng)板7、L形連接桿8、容納箱9、循環(huán)管10、蓋板11、連接塊12、固定板13、貼合板14、連通管15、貼合塊16、噴涂材料17、抽氣裝置18、電磁閥19、真空泵連接管20。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

本實(shí)用新型提供了如圖1-3所示的一種旋轉(zhuǎn)式真空鍍膜機(jī),包括鍍膜機(jī)主體1,所述鍍膜機(jī)主體1的內(nèi)腔底端中部設(shè)置有導(dǎo)向凸起2,所述鍍膜機(jī)主體1的內(nèi)腔底部邊緣設(shè)置有收集槽3,所述鍍膜機(jī)主體1的側(cè)壁上設(shè)置有電控滑軌4,所述電控滑軌4通過連接管5與活動(dòng)噴頭6連接,所述鍍膜機(jī)主體1的端側(cè)壁上設(shè)置有環(huán)形空槽,所述環(huán)形空槽位于電控滑軌4的上方,所述環(huán)形空槽內(nèi)設(shè)置有活動(dòng)板7,所述活動(dòng)板7通過L形連接桿8與電控滑軌4連接,所述活動(dòng)板7上固定安裝有容納箱9,所述容納箱9的底部設(shè)置有循環(huán)管10,所述循環(huán)管10遠(yuǎn)離容納箱9的一端插入收集槽3內(nèi),所述鍍膜機(jī)主體1的頂部設(shè)置有蓋板11,所述蓋板11的底端中部設(shè)置有連接塊12,所述連接塊12的底部設(shè)置有固定板13,所述固定板13的內(nèi)側(cè)設(shè)置有貼合板14,所述貼合板14靠近固定板13的一端設(shè)有連通管15,所述連通管15遠(yuǎn)離貼合板14的一端貫穿固定板13并與貼合塊16固定連接,所述貼合塊16的外側(cè)貼合設(shè)置有噴涂材料17,所述連接塊12的中部設(shè)置有抽氣裝置18,所述抽氣裝置18的底部通過通氣管與連通管15連接,所述抽氣裝置18的頂部設(shè)置有電磁閥19,所述電磁閥19的頂部設(shè)置有出氣口,所述出氣口位于蓋板11內(nèi),所述蓋板11的一側(cè)設(shè)置有真空泵連接管20。

所述活動(dòng)噴頭6與連接管5通過銷軸連接,且銷軸上設(shè)置有微型電機(jī);所述活動(dòng)板7的底部設(shè)置有滾珠,滾珠的底部位于空槽底部的環(huán)形滑道內(nèi);所述固定板13設(shè)置有多個(gè),多個(gè)固定板13呈環(huán)形陣列分布;所述噴涂材料17為環(huán)形結(jié)構(gòu),所述固定板13、連通管15和貼合塊16均位于噴涂材料17的內(nèi)側(cè);所述貼合塊16的外側(cè)設(shè)置有彈性連接層,彈性連接層與噴涂材料17的內(nèi)側(cè)貼合連接,且彈性連接層上設(shè)置有氣孔。

本實(shí)用工作原理:本裝置在工作時(shí),先將噴涂材料17設(shè)置在貼合塊16的外側(cè),使得貼合塊16上的彈性連接層與噴涂材料17的內(nèi)側(cè)貼合連接,再啟動(dòng)抽氣裝置18,此時(shí)抽氣裝置18通過氣管、連通管15和貼合塊16上的氣孔將噴涂材料17吸附固定住,然后將蓋板11蓋在鍍膜機(jī)主體1上,通過真空泵連接管20將鍍膜機(jī)主體1的內(nèi)腔變成真空環(huán)境,然后啟動(dòng)電控滑軌4,使得電控滑軌4帶動(dòng)連接管5、活動(dòng)噴頭6、活動(dòng)板7和容納箱9移動(dòng),容納箱9內(nèi)的鍍膜液體通過通液管、連接管5從活動(dòng)噴頭6噴出,對噴涂材料17進(jìn)行鍍膜工作,活動(dòng)噴頭6上的微型電機(jī)能夠調(diào)整活動(dòng)噴頭6的角度,使得活動(dòng)噴頭6能夠均勻鍍膜,活動(dòng)噴頭6上滴落的鍍膜液會(huì)通過導(dǎo)向凸起2進(jìn)入到收集槽3內(nèi),再通過循環(huán)管10輸送至容納箱9內(nèi),進(jìn)行鍍膜,提高了鍍膜液的利用效率。

最后應(yīng)說明的是:以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已,并不用于限制本實(shí)用新型,盡管參照前述實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明,對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
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