在現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)中，安裝在鍍膜腔體中的加熱裝置多種多樣，現(xiàn)有的用于真空鍍膜的加熱裝置大多有加熱效率不高，無法減輕操作負(fù)擔(dān)、以及提高作業(yè)效率，受熱不均等問題。
提供一種真空鍍膜系統(tǒng)，本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和真空手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。
真空鍍膜系統(tǒng)優(yōu)點(diǎn)：蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合，實(shí)現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作，使整個(gè)薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中，消除有機(jī)大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高性能、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。
