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如何保養(yǎng)鍍膜機才能壽命更長?

作者:  來源:  更新時間:2019-9-10 10:46:05  點擊次數(shù):
真空鍍膜機就是:蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且最終沉積在基片表面,經歷成膜過程,最終形成薄膜。

那么在使用的同時,我們怎么去保養(yǎng)他,愛護它,從而讓他壽命更長呢?

一般擴散泵連續(xù)使用6個月以上,抽速明顯變慢,或操作失當,充入大氣,拆去聯(lián)結水管,卸下電爐盤,將一級噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,裝好泵膽,加入新擴散泵油,并裝回機體,接好水管,裝好電爐盤,真空鍍膜設備便可以重新開機。在重新開機前,要注意檢漏工作。

方法是:啟動維持泵,關好大門,數(shù)分鐘后,觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕,否則要進行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱,否則擴散泵油會燒環(huán),真空鍍膜設備無法進入工作狀態(tài)。

方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復擦洗真空室內壁,( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應,反應后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的污垢?!?/span>

當粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個月(雨季減半),需更換新油。

方法是:擰開放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動數(shù)秒,使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時應將油蓋打開,用布擦干凈箱內污垢。
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