所謂濺射就是用荷能粒子(通常用惰性氣體的正離子)去轟擊固體(以下稱靶材)表面,從而引起靶材表面上的原子(或分子)從其中逸出的一種現(xiàn)象。這一現(xiàn)象是格洛夫(Grove)于1842年在實驗研究陰極腐蝕問題時,陰極材料被遷移到真空管壁上而發(fā)現(xiàn)的。
真空鍍膜機(jī)利用這種濺射方法在基體上沉積薄膜是1877年問世的。但是,利用這種方法沉積薄膜的初期存在著濺射速率低,成膜速度慢,并且必須在裝置上設(shè)置高壓和通入惰性氣體等一系列問題。因此,發(fā)展緩慢險些被淘汰。只是在化學(xué)活性強(qiáng)的貴金屬、難容金屬、介質(zhì)以及化合物等材料上得到了少量的應(yīng)用。直到20世紀(jì)70年代,由于磁控濺射及時的出現(xiàn),才使濺射鍍膜得到了迅速的發(fā)展,開始走入了復(fù)興的道路。這是因為磁控濺射法可以通過正交電磁場對電子的約束,增加了電子與氣體分子的碰撞概率,這樣不但降低了加在陰極上的電壓,而且提高了正離子對靶陰極的濺射速率,減少了電子轟擊基體的概率,從而降低了它的溫度,即具備了;高速、低溫的兩大特點。到了80年代,雖然他的出現(xiàn)僅僅十幾年間,它就從實驗室中脫穎而出,真正地進(jìn)入了工業(yè)大生產(chǎn)的領(lǐng)域。而且,隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,近幾年來在濺射鍍膜領(lǐng)域中推出了離子束增強(qiáng)濺射,采用寬束強(qiáng)流離子源結(jié)合磁場調(diào)制,并與常規(guī)的二極濺射相結(jié)合組成了一種新的濺射模式。而且,又將中頻交流電源引入到磁控濺射的靶源中。這種被稱為孿生靶濺射的中頻交流磁控濺射技術(shù),不但消除了陽極的;消失;效應(yīng)。而且,也解決了陰極的;中毒;問題,從而極大地提高了磁控濺射的穩(wěn)定性。為化合物薄膜制備的工業(yè)化大生產(chǎn)提供了堅實的基礎(chǔ)。近年來急速鍍膜的復(fù)興與發(fā)展已經(jīng)作為人們炙手可熱的一種新興的薄膜制備技術(shù)而活躍在真空鍍膜的技術(shù)領(lǐng)域中。
關(guān)鍵詞:真空鍍膜設(shè)備
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