人們熟悉的光學(xué)儀器有望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、照相機(jī)、測距儀、以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等。它們都離不開鍍膜技術(shù),鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。
一般光學(xué)儀器中的光學(xué)系統(tǒng)都由多個(gè)透鏡組成,光線要經(jīng)光氣-玻璃界面,會(huì)有相當(dāng)多的光線被反射掉,透過的光線很少,影響光學(xué)儀器的光學(xué)效果。
為了減少反射損耗,增大光線的透過率,往往在玻璃表面沉積增透膜來提高光的透過率。反射膜與增透膜相反,反射膜要求把入射光大部分或幾乎全部反射回去。例如:光學(xué)儀器、激光器、波導(dǎo)管、汽車和燈具的反射鏡都需要鍍反射膜。反射膜有金屬膜和介質(zhì)膜兩種。
鍍制金屬高反射膜最常用的材料有鋁、銀、金、銅等。為了提高金屬膜表面的抗擦損能力,往往在表面鍍一層保護(hù)膜,如SiO/SiO2/Al2O3。
在激光器和多光束干涉儀反射鏡上,一般沉積低吸收、高反射的全介質(zhì)反射膜。其結(jié)構(gòu)是在基片上交替沉積光學(xué)厚度為λ/4的高、低折射率材料的膜層。
關(guān)鍵詞:真空鍍膜技術(shù)
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