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真空鍍膜機(jī)冷卻系統(tǒng)的原理及監(jiān)控方法

作者:馳誠機(jī)械設(shè)備  來源:溫州馳誠機(jī)械設(shè)備有限公司  更新時間:2017-11-13 10:30:25  點(diǎn)擊次數(shù):
       真空鍍膜設(shè)備的金屬罩體通過安裝孔然后以焊接的方式固定在真空鍍膜機(jī)的外壁上,待冷卻的外壁通過加強(qiáng)圓槽形成渠道,這樣確保了冷卻的流通,也避免的死角現(xiàn)象的產(chǎn)生,有效的對鍍膜機(jī)進(jìn)行了快速的降溫,降低了油泵的溫度,加強(qiáng)了冷卻的強(qiáng)度,結(jié)構(gòu)簡單,安全可靠等有點(diǎn),在真空鍍膜機(jī)冷卻外殼上包括金屬罩體的原因是數(shù)個排列有序,并且內(nèi)凹的加強(qiáng)圓槽,所述加強(qiáng)圓槽呈半球形或圓錐臺形;在所述加強(qiáng)圓槽底部設(shè)有用連接現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的待冷卻外壁的安裝孔,所述金屬罩體通過安裝孔并以焊接方式固定在現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的待冷卻外壁上,在所述金屬罩體與待冷卻外壁之間通過加強(qiáng)圓槽構(gòu)成循環(huán)通道,根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼,其特征在于,在所述金屬罩體上相鄰兩所述加強(qiáng)圓槽的縱橫間距為100-300mm,上述加強(qiáng)圓槽槽深為12_15mm,所述金屬罩體的厚度為2-5_,根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼,其特征在于,所述加強(qiáng)圓槽的最大直徑為24-136mm。

       真空鍍膜機(jī)主要是指在真空度很高的情況下鍍膜,已經(jīng)被廣泛應(yīng)用,制度薄膜尤其廣泛,其制作的薄膜也被應(yīng)用到各種光電系統(tǒng)和光學(xué)儀器中,數(shù)碼相機(jī)。望遠(yuǎn)鏡,還有汽車工業(yè)等行業(yè)都用到了!

       現(xiàn)代真空鍍膜機(jī)膜厚測量及監(jiān)控方法最直接的鍍膜控制方法是石英晶體微量平衡法(QCM),這種儀器可以直接驅(qū)動蒸發(fā)源,通過PID控制循環(huán)驅(qū)動擋板,保持蒸發(fā)速率。只要將儀器與系統(tǒng)控制軟件相連接,它就可以控制整個的鍍膜過程。但是(QCM)的精確度是有限的,部分原因是由于它監(jiān)控的是被鍍膜的質(zhì)量而不是其光學(xué)厚度。此外雖然QCM在較低溫度下非常穩(wěn)定,但溫度較高時,它會變得對溫度非常敏感。在長時間的加熱過程中,很難阻止傳感器跌入這個敏感區(qū)域,從而對膜層造成重大誤差?! ?/span>

       光學(xué)監(jiān)控是高精密鍍膜的的首選監(jiān)控方式,這是因?yàn)樗梢愿_地控制膜層厚度(如果運(yùn)用得當(dāng))。精確度的改進(jìn)源于很多因素,但最根本的原因是對光學(xué)厚度的監(jiān)控。OPTIMALSWA-I-05單波長光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng),是采用間接測控,結(jié)合汪博士開發(fā)的先進(jìn)光學(xué)監(jiān)控軟件,有效提高光學(xué)反應(yīng)對膜厚度變化靈敏度的理論和方法來減少終極誤差,提供了反饋或傳輸?shù)倪x擇模式和大范圍的監(jiān)測波長。特別適合于各種膜厚的鍍膜監(jiān)控包括非規(guī)整膜監(jiān)控。

真空鍍膜機(jī)

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