一、在選真空泵時,首先要注意真空泵在工作時產(chǎn)生的振動對工藝和環(huán)境是不是存在著影響,如果工藝過程受到影響,應(yīng)該采取防振措施或者另選真空泵。在選擇的時候需要了解待抽氣體的成分,如果需要選擇性的抽氣,一種泵可能不足以滿足要求,必須組合多種不同的泵互相配合工作,如果真空鍍膜設(shè)備鍍膜要求無油則要選用無油泵。
二、真空泵的價格和維修費用也是我們考慮的重點之一。
三、真空鍍膜設(shè)備對于真空度的極限要求和工作壓力強度要求越來越大,對真空泵的抽真空能力要求就越高,起碼泵的極限抽真空度要高于真空設(shè)備工作真空度的半個數(shù)量級以上。每種泵都有一定的工作壓強范圍,譬如像擴散泵的壓強為3~10-7mmHg,其穩(wěn)定工作壓強范圍為5*10-4~5*10-6mmHg,那么使用擴散泵就不能讓其在未定工作壓強范圍之外工作。
四、當(dāng)泵需要的氣體壓力不高或所需的真空度不高的時候,可優(yōu)先在單級泵中進行選擇,度過排氣壓力或真空度的要求比較高,單擊泵往往不可以滿足要求,可以選擇使用兩級泵或者多級泵。
關(guān)鍵詞:真空鍍膜設(shè)備
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