由于真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作,因此該設(shè)備要滿足真空對(duì)環(huán)境的要求。
我國(guó)制定的各種真空鍍膜設(shè)備的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(包括真空鍍膜設(shè)備通用技術(shù)條件、真空離子鍍膜設(shè)備、真空濺射鍍膜設(shè)備、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備)都對(duì)環(huán)境要求作了明確規(guī)定。
只有滿足了真空鍍膜設(shè)備對(duì)環(huán)境的要求,才能使該設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn),加上正確的鍍膜工藝,方能生產(chǎn)出合格的鍍膜產(chǎn)品。
真空鍍膜設(shè)備對(duì)環(huán)境的要求:
一般包括真空設(shè)備對(duì)所處實(shí)驗(yàn)室(或車(chē)間)的溫度、空氣中的微粒等周?chē)h(huán)境的要求,和對(duì)處于真空狀態(tài)或真空中的零件或表面要求兩個(gè)方面。這兩個(gè)方面是有密切聯(lián)系的。周?chē)h(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用;而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清洗,又直接影響設(shè)備的性能。
如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵,在真空室沒(méi)有經(jīng)過(guò)清洗的情況下用油封機(jī)械泵去抽氣,要達(dá)到預(yù)期的真空度很難的。眾所周,油封式機(jī)械泵不宜抽除對(duì)金屬有腐蝕性、對(duì)真空油其反應(yīng)的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體,當(dāng)大量抽除可凝性氣體時(shí),對(duì)泵油的污染會(huì)更加嚴(yán)重,結(jié)果使泵的極限真空下降,破壞了泵的抽氣性能。
工業(yè)環(huán)境中的粉塵是以粉狀體、眼無(wú)題、粉塵來(lái)區(qū)分的。粉狀體是粉末或固體顆粒的集合或分散狀態(tài)的物質(zhì)。所謂粉末是指微小的固體顆粒的集合,而顆粒是指能夠一個(gè)一個(gè)計(jì)數(shù)的微小物質(zhì)。
煙霧體是以固體或液體的微小顆粒呈浮狀態(tài)存在于氣體中的物質(zhì)體系。物質(zhì)無(wú)論是固體還是液體,凡是呈顆粒狀態(tài)均可統(tǒng)稱為塵粒。以塵粒直徑的大小來(lái)確定空氣清潔度的標(biāo)準(zhǔn),從而定制出潔凈室的等級(jí)。不僅適合于有潔凈要求的工業(yè)部門(mén),也適合于真空對(duì)潔凈環(huán)境的要求。
關(guān)鍵詞:真空鍍膜設(shè)備
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