真空鍍膜設(shè)備簡介及真空鍍膜設(shè)備維修保養(yǎng)的技巧
真空鍍膜設(shè)備主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
需要鍍膜的被成為基片，鍍的材料被成為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。
蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來，并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長）形成薄膜。 對(duì)于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來，并且最終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，最終形成薄膜。
真空鍍膜設(shè)備維修保養(yǎng)的技巧
如何保養(yǎng)真空鍍膜設(shè)備？真空鍍膜設(shè)備維修保養(yǎng)又有什么技巧呢？現(xiàn)在很多廠家對(duì)于真空鍍膜設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)都不是很清楚，在需要進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)的時(shí)候，結(jié)果卻無從下手，讓很多有真空鍍膜設(shè)備廠家非常頭痛。今天小編與你分享如何對(duì)真空鍍膜設(shè)備進(jìn)行維修保養(yǎng)以及保養(yǎng)過程中的三大技巧。
1、真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上，應(yīng)清潔工作室一次。方法是：用燒堿(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁，( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落，并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。
2、當(dāng)粗抽泵(滑閥泵，旋片泵)連續(xù)工作一個(gè)月(雨季減半)，需更換新油。方法是：擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動(dòng)數(shù)秒，使泵內(nèi)的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上，換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。
3、擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上，抽速明顯變慢，或操作失當(dāng)，充入大氣，拆去聯(lián)結(jié)水管，卸下電爐盤，將一級(jí)噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然后用清水徹底清洗干凈，待水份揮發(fā)干以后，裝好泵膽，加入新擴(kuò)散泵油，并裝回機(jī)體，接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機(jī)。在重新開機(jī)前，要注意檢漏工作。
方法是：啟動(dòng)維持泵，關(guān)好大門，數(shù)分鐘后，觀察擴(kuò)散泵部分真空度是否達(dá)到6X10帕，否則要進(jìn)行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒環(huán)，無法進(jìn)入工作狀態(tài)。
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