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真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝置的設(shè)計(jì)特點(diǎn)

作者:溫州馳誠真空機(jī)械有限公司  來源:http://xingxinbz.com  更新時(shí)間:2016-3-8 10:17:35  點(diǎn)擊次數(shù):

真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝置的設(shè)計(jì)特點(diǎn)

1)固定筒3 圓筒形狀、大直徑、厚壁結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和周向?qū)ΨQ的固定方式,可保證其有足夠的強(qiáng)度和剛度,同時(shí),還可阻止高溫濺射磨料對(duì)其內(nèi)部零部件污染,保證撥動(dòng)盤15 轉(zhuǎn)動(dòng)的靈活性。
2)圓形軸承座2 的設(shè)計(jì),保證軸承座安裝的密封性和垂直度;增大軸1 的直徑尺寸,加大軸承座2 中兩軸承的安裝間距,提高其自身的強(qiáng)度和剛度,保證轉(zhuǎn)動(dòng)過程中軸1 的剛度和撥動(dòng)盤15的旋轉(zhuǎn)靈活性、位置重復(fù)的一致性。
3)裝載換位機(jī)構(gòu),通過擴(kuò)大支承盤16 的直徑,使該機(jī)構(gòu)在平面方向的有效面積增大,可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有利于光路調(diào)整,提高光學(xué)薄膜質(zhì)量;比較片12 由單片玻璃作為一個(gè)比較片單元,比較片采用空間立體疊加安裝方式,多片玻璃疊加安裝在一個(gè)比較片存儲(chǔ)筒13 內(nèi),實(shí)現(xiàn)一次可放置50~100 片比較片,解決鍍膜機(jī)鍍制多層精密光學(xué)薄膜,比較片數(shù)量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問題。
4)定位盤6 與槽型光藕17 的配合,通過槽型光藕來感知定位盤上三個(gè)均分的120°狹縫,控制電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)停止。軸1 旋轉(zhuǎn)定位重復(fù)的一致性得到保證,帶動(dòng)撥動(dòng)盤15 完成準(zhǔn)確的撥片動(dòng)作。
5) 轉(zhuǎn)動(dòng)密封饋入機(jī)構(gòu)引入威爾遜密封機(jī)構(gòu)5,既保證電機(jī)9 通過齒輪嚙合帶動(dòng)軸1 的靈活轉(zhuǎn)動(dòng),又保證真空室對(duì)外部的密封作用。優(yōu)化設(shè)計(jì)的真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝置,
其特點(diǎn):
1)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,強(qiáng)度高,可靠性好;
2)比較片裝載數(shù)量大,生產(chǎn)效率提高,可鍍制超多層精密光學(xué)薄膜;
3)比較片直徑增大,提高薄膜監(jiān)控的精度,降低對(duì)硬件系統(tǒng)的要求,系統(tǒng)容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制;
4)維護(hù)保養(yǎng)費(fèi)用低。
真空鍍膜機(jī)
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