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如何掌控真空鍍膜的均勻性

作者:溫州馳誠(chéng)真空機(jī)械有限公司  來源:http://xingxinbz.com  更新時(shí)間:2015-12-10 16:54:57  點(diǎn)擊次數(shù):

如何掌控真空鍍膜的均勻性

我們先來認(rèn)識(shí)下怎么調(diào)試鍍膜機(jī),因?yàn)檎莆照{(diào)試鍍膜機(jī)是使用鍍膜機(jī)的關(guān)鍵怎么調(diào)試鍍膜機(jī)
1、測(cè)試設(shè)備的抽真空速度,在測(cè)試過程中檢查漏氣情況與各真空泵的性能;
2、測(cè)試設(shè)備的密封性能,就是抽到極限后保壓1小時(shí)看壓降是否達(dá)標(biāo),同時(shí)排除細(xì)小的漏孔;
3、產(chǎn)品試作,檢驗(yàn)其他的性能,比如傳動(dòng)、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝保證的話就繼續(xù)打樣并作測(cè)試。
5、所有的測(cè)試應(yīng)作記錄,并有記錄人簽字以及有使用部門或工程部門的人確認(rèn)簽字
怎么掌控真空鍍膜的均勻性?
由于車燈鍍膜機(jī)原理的不同分為很多種類,僅僅因?yàn)槎夹枰哒婵斩榷鴵碛薪y(tǒng)一名稱。所以對(duì)于不同原理的真空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡相同。并且均勻性這個(gè)概念本身也會(huì)隨著鍍膜尺度和薄膜成分而有著不同的意義,下面分別說一下:
均勻性主要體現(xiàn)在3方面:
1.厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長(zhǎng)作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長(zhǎng)的1/10范圍內(nèi),也就是說對(duì)于多弧離子鍍膜機(jī)的光學(xué)特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就是說要實(shí)現(xiàn)10A甚至1A的表面平整,是現(xiàn)在真空鍍膜中主要的技術(shù)含量與技術(shù)瓶頸所在。
2.化學(xué)組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合物的原子組分會(huì)由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果濺控濺射鍍膜機(jī)過程不科學(xué),那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。
3.晶格有序度的均勻性:這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術(shù)中的熱點(diǎn)問題。  
如何掌控真空鍍膜的均勻性
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