1)所需設(shè)備:CCZK-900ION-T系列多弧離子工具鍍膜機(jī)
2)獲得膜層:TiN(氮化鈦),AlN(氮化鋁),CrN(氮化鉻),TiC(碳化鈦),TiAlN(氮化鋁鈦)等
3)涂裝流程:工具產(chǎn)品的前處理(超聲波清洗或表面一定程度的拋光)----烘箱烘干----真空離子鍍膜(2H-12H)---- 冷卻---出爐---成品包裝
4)基本配置:
腔體結(jié)構(gòu):D900mm*H1100mm,立式前開門
腔體材質(zhì):304不銹鋼材質(zhì)
烘烤系統(tǒng):鎧裝加熱550℃ PID溫控
冷卻系統(tǒng):不銹鋼水冷套裝
多弧電源:200A 10套
多弧靶材:鈦靶或不銹鋼靶 10套
偏壓電源:20KW 1套
Bias power:20kw 1set
氣體控制:4路氣體流量控制系統(tǒng)
泵抽系統(tǒng):1臺(tái)分子泵+1臺(tái)羅茨泵+1臺(tái)直聯(lián)泵(德國(guó)萊寶)
智能控制:PLC+臺(tái)灣研華工業(yè)計(jì)算機(jī)+HMI智能人機(jī)界面控制+報(bào)警系統(tǒng)
安裝服務(wù):免費(fèi)提供客戶現(xiàn)場(chǎng)的安裝調(diào)試服務(wù)
保修服務(wù):免費(fèi)提供12個(gè)月的保修服務(wù)
培訓(xùn)服務(wù):免費(fèi)提供客戶操作人員的基本培訓(xùn)服務(wù)
5)需求配套設(shè)施:
空壓機(jī)+儲(chǔ)氣罐+水泵+水冷設(shè)備+超聲波清洗機(jī)
水壓流速:0.2Mpa 3m3/h
氣 壓:0.4-0.8mpa
水 溫:小于25℃