真空鍍膜機多片式比較片裝置的設計特點
1)固定筒3 圓筒形狀、大直徑、厚壁結構的設計和周向?qū)ΨQ的固定方式，可保證其有足夠的強度和剛度，同時，還可阻止高溫濺射磨料對其內(nèi)部零部件污染，保證撥動盤15 轉動的靈活性。
2)圓形軸承座2 的設計，保證軸承座安裝的密封性和垂直度；增大軸1 的直徑尺寸，加大軸承座2 中兩軸承的安裝間距，提高其自身的強度和剛度，保證轉動過程中軸1 的剛度和撥動盤15的旋轉靈活性、位置重復的一致性。
3)裝載換位機構，通過擴大支承盤16 的直徑，使該機構在平面方向的有效面積增大，可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片，有利于光路調(diào)整，提高光學薄膜質(zhì)量；比較片12 由單片玻璃作為一個比較片單元，比較片采用空間立體疊加安裝方式，多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒13 內(nèi)，實現(xiàn)一次可放置50~100 片比較片，解決鍍膜機鍍制多層精密光學薄膜，比較片數(shù)量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問題。
4)定位盤6 與槽型光藕17 的配合，通過槽型光藕來感知定位盤上三個均分的120°狹縫，控制電機轉動停止。軸1 旋轉定位重復的一致性得到保證，帶動撥動盤15 完成準確的撥片動作。
5) 轉動密封饋入機構引入威爾遜密封機構5，既保證電機9 通過齒輪嚙合帶動軸1 的靈活轉動，又保證真空室對外部的密封作用。優(yōu)化設計的真空鍍膜機多片式比較片裝置，
其特點：
1)結構簡單，強度高，可靠性好；
2)比較片裝載數(shù)量大，生產(chǎn)效率提高，可鍍制超多層精密光學薄膜；
3)比較片直徑增大，提高薄膜監(jiān)控的精度，降低對硬件系統(tǒng)的要求，系統(tǒng)容易實現(xiàn)自動控制；
4)維護保養(yǎng)費用低。
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