“真空鍍膜機(jī)”我們?cè)谌粘Ｉ?、工作中都?jīng)常用到，但不知道大家對(duì)“真空鍍膜機(jī)”是否知道呢？本文收集整理了一些資料，希望本文能對(duì)各位讀者有比較大的參考價(jià)值。
簡(jiǎn)介
需要鍍膜的被稱(chēng)為基片，鍍的材料被稱(chēng)為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)。
使用步驟
電控柜操作
1. 開(kāi)水泵、氣源。
2. 開(kāi)總電源。
3. 開(kāi)維持泵、真空計(jì)電源，真空計(jì)檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。
4. 開(kāi)機(jī)械泵、予抽，開(kāi)渦輪分子泵電源、啟動(dòng)，真空計(jì)開(kāi)關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。
5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后，關(guān)予抽，開(kāi)前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達(dá)一定程度后才能開(kāi)右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開(kāi)電子槍電源。
DEF-6B操作
1. 總電源。
2. 同時(shí)開(kāi)電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時(shí)開(kāi)關(guān)，延時(shí)、電源及保護(hù)燈亮，三分鐘后延時(shí)及保護(hù)燈滅，若后門(mén)未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護(hù)燈會(huì)常亮。
3. 開(kāi)高壓，高壓會(huì)達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動(dòng)。
關(guān)機(jī)順序
1. 關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。
2. 待分子泵顯示到50時(shí)，依次關(guān)高閥、前級(jí)、機(jī)械泵，這期間約需40分鐘。
3. 到50以下時(shí)，再關(guān)維持泵。
適用范圍
1．建筑五金：衛(wèi)浴五金（如水龍頭）．門(mén)鎖．門(mén)拉手．衛(wèi)浴、門(mén)鎖、五金合葉、家具等。
2．制表業(yè)：可用于表殼．表帶的鍍膜、水晶制品。
3．其它小五金：皮革五金．不銹鋼餐具．眼鏡框、刀具、模具等．
4．大型工件：汽車(chē)輪轂、不銹鋼板．招牌．雕塑等。
5、不銹鋼管和板（各種類(lèi)型表面）
6、家具、燈具、賓館用具。
7、鎖具、拉手、衛(wèi)浴五金、高爾夫球頭、不銹鋼餐具、器血等五金制品鍍超硬裝飾膜。
8、手表、表帶、眼鏡、首飾等裝飾品鍍超耐磨裝飾（金銀）納米膜和納米膜和納米疊層膜。
薄膜均勻性概念
1.厚度上的均勻性，也可以理解為粗糙度，在光學(xué)薄膜的尺度上看（也就是1/10波長(zhǎng)作為單位，約為100A），真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好，可以輕松將粗糙度控制在可見(jiàn)光波長(zhǎng)的1/10范圍內(nèi)，也就是說(shuō)對(duì)于薄膜的光學(xué)特性來(lái)說(shuō)，真空鍍膜沒(méi)有任何障礙。 但是如果是指原子層尺度上的均勻度，也就是說(shuō)要實(shí)現(xiàn)10A甚至1A的表面平整，具體控制因素下面會(huì)根據(jù)不同鍍膜給出詳細(xì)解釋。
2.化學(xué)組分上的均勻性： 就是說(shuō)在薄膜中，化合物的原子組分會(huì)由于尺度過(guò)小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，如果鍍膜過(guò)程不科學(xué)，那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 具體因素也在下面給出。
3.晶格有序度的均勻性： 這決定了薄膜是單晶，多晶，非晶，是真空鍍膜技術(shù)中的熱點(diǎn)問(wèn)題，具體見(jiàn)下。
主要分類(lèi)
主要分類(lèi)有兩個(gè)大種類(lèi)： 蒸發(fā)沉積鍍膜和濺射沉積鍍膜，具體則包括很多種類(lèi)，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，溶膠凝膠法等等 。
對(duì)于蒸發(fā)鍍膜：
一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)。
厚度均勻性主要取決于：
1?；牧吓c靶材的晶格匹配程度
2、基片表面溫度
3. 蒸發(fā)功率，速率
4. 真空度
5. 鍍膜時(shí)間，厚度大小。
組分均勻性：
蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證，具體可以調(diào)控的因素同上，但是由于原理所限，對(duì)于非單一組分鍍膜，蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。
晶向均勻性：
1。晶格匹配度
2。 基片溫度
3。蒸發(fā)速率
濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點(diǎn)在于濺射速率將成為主要參數(shù)之一。
濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對(duì)較差（因?yàn)槭敲}沖濺射），晶向（外沿）生長(zhǎng)的控制也比較一般。
操作程序
真空鍍膜機(jī)操作程序具體操作時(shí)請(qǐng)參照該設(shè)備說(shuō)明書(shū)
和設(shè)備上儀表盤(pán)指針顯示及各旋鈕下的標(biāo)注說(shuō)明。
?、?檢查真空鍍膜機(jī)各操作控制開(kāi)關(guān)是否在"關(guān)"位置。
?、?打開(kāi)總電源開(kāi)關(guān)，設(shè)備送電。
?、?低壓閥拉出。開(kāi)充氣閥，聽(tīng)不到氣流聲后，啟動(dòng)升鐘罩閥，鐘罩升起。
?、?安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤(pán)上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位，保證無(wú)任何雜質(zhì)污物。
?、?落下鐘罩。
?、?啟動(dòng)抽真空機(jī)械泵。
?、?開(kāi)復(fù)合真空計(jì)電源（復(fù)合真空計(jì)型號(hào)：Fzh-1A)。
a.左旋鈕“1”順時(shí)針旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段的加熱位置。
b.低真空表“2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)，當(dāng)指針移動(dòng)至110mA時(shí)，左旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置。
⑧ 當(dāng)?shù)驼婵毡?ldquo;2”內(nèi)指針再次順時(shí)針移動(dòng)至6.7Pa時(shí)，低壓閥推入。這時(shí)左旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測(cè)量位置。
?、?真空鍍膜機(jī)開(kāi)通冷卻水，啟動(dòng)擴(kuò)散泵，加熱40min。
?、?低壓閥拉出。重復(fù)一次⑦動(dòng)作程序：左下旋鈕“1”轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置。低真空表“2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)，當(dāng)指針移動(dòng)至6.7Pa時(shí)，開(kāi)高壓閥（閥桿順時(shí)針旋轉(zhuǎn)）。
等低真空表“2”內(nèi)指針右移動(dòng)至0.1Pa時(shí)，開(kāi)規(guī)管燈絲開(kāi)關(guān)。
a. 發(fā)射、零點(diǎn)測(cè)量鈕“9”旋轉(zhuǎn)至指向發(fā)射位置。
b. 左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測(cè)量位置。
c. 鋁絲全部熔化蒸發(fā)，擋板回原位。
d. 右手旋轉(zhuǎn)調(diào)壓器手輪回零位。第一次蒸鍍工作完成。
21. 如果再想蒸鍍一次（為了增加電極金屬層厚度）：把電流分插塞撥出插入另一個(gè)電極分配孔。重復(fù)?操作動(dòng)作。
22. 關(guān)閉規(guī)管燈絲開(kāi)關(guān)。關(guān)閉高壓閥（逆時(shí)針轉(zhuǎn)手柄）。關(guān)閉工件旋轉(zhuǎn)。關(guān)閉蒸發(fā)。旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵鈕至指向擴(kuò)散泵位置。
23. 低壓閥拉出。鐘罩充氣。充氣一段時(shí)間，當(dāng)沒(méi)有氣.聲時(shí)，升鐘罩。
24. 鎢螺旋加熱子內(nèi)加鋁絲。PVDF薄膜調(diào)換另一面向下 （原下面已鍍一層鋁膜面向上）。緊固在轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤(pán)上。
25. 落鐘罩。開(kāi)機(jī)械泵。
a. 左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置。
b. 當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?ldquo;2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)到6.7Pa時(shí)，低壓閥推入。
c. 左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測(cè)量位置。
d. 當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?ldquo;2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)到6.7Pa時(shí)，開(kāi)高壓閥。旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置。
e. 當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?ldquo;2”內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)到指向0.1Pa時(shí)，開(kāi)規(guī)管燈絲。
f. 由?開(kāi)始重復(fù)操作至?。
26. PVDF薄膜蒸鍍完鋁層后，按順序關(guān)閉規(guī)管燈絲、高壓閥、機(jī)械泵、擴(kuò)散泵。把低壓閥拉出。鐘罩充氣，充氣完畢后升鐘罩。取出工件，做好鐘罩內(nèi)清理工作。
a. 落下鐘罩。
b. 開(kāi)機(jī)械泵，抽3~5min，停機(jī)械泵。
c. 切斷供電總開(kāi)關(guān)。
d. 1h后再關(guān)閉冷卻水。操作全部完成。
27. 正常生產(chǎn)中，如遇到突然停電時(shí)，要立即切斷高真空測(cè)量，關(guān)閉規(guī)管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來(lái)電后，先讓機(jī)械泵啟動(dòng)工作3~5min后，再轉(zhuǎn)入正常生產(chǎn)。
綜上所述，本文已為講解真空鍍膜機(jī)，相信大家對(duì)真空鍍膜機(jī)的認(rèn)識(shí)越來(lái)越深入，希望本文能對(duì)各位讀者有比較大的參考價(jià)值。
