一、虛漏:
虛漏是由于設(shè)計(jì)或制造加工工藝不當(dāng),在真空鍍膜設(shè)備內(nèi)形成貯存氣源的洞穴,這些氣體在真空環(huán)境下慢慢釋放出來(lái),形同漏氣,簡(jiǎn)稱虛漏。
例如,真空鍍膜設(shè)備內(nèi)的緊固螺釘沒(méi)有出氣孔,焊縫交叉設(shè)計(jì),焊接不完善留有孔穴等都會(huì)造成虛漏現(xiàn)象。
二、漏孔:
漏孔是真空鍍膜設(shè)備內(nèi)的電真空器件中直徑微米數(shù)量級(jí)的小漏孔,空氣中的塵?;蛞后w都很容易造成漏孔的堵塞,這些就算你當(dāng)時(shí)修理好了也是暫時(shí)性的,檢漏時(shí)好像不漏,但經(jīng)過(guò)抽氣之后,又會(huì)出現(xiàn)漏氣。
所以為了檢查,一定要仔細(xì)處理好檢漏部位,盡量不用手去摸被檢測(cè)區(qū)域,避免塵?;蛴椭氯┛?。